エピタキシャル成長ってなんですか？

薄膜をつくっているとよく、「それって結局エピしてんの？」などと聞かれます。
常識的に”エピ”ってるかどうかの判断を求められるわけですが、実は結構定義が曖昧だったりしてます。
人によっては少しでも基板の面方位に対して配向していたらエピってる、と判断していたり。

エピタキシャル成長って一応定義は、

成長する結晶、基板物質に対してどの部分でも結晶方位を揃えて成長すること

なんです。

一応ここにメモしておきます。